Le caratteristiche dell'utilizzo del fascio di elettroni per elaborare piccoli fori nell'industria dei macchinari

La lavorazione del fascio di elettroni avviene in condizioni di vuoto, utilizzando il fascio di elettroni focalizzato con una densità di energia estremamente elevata per colpire un'area molto piccola sulla superficie del pezzo ad una velocità molto elevata. In brevissimo tempo, la maggior parte della sua energia viene convertita in energia termica, in modo che il materiale del pezzo nella parte colpita raggiunga una temperatura elevata di diverse migliaia di gradi Celsius, che provoca la gassificazione locale del materiale e viene risucchiato via dal vuoto sistema. Attualmente è possibile lavorare fori con un diametro inferiore a 3um, il che è particolarmente vantaggioso per la perforazione di molti pezzi nel campo della microelettronica. È un metodo di lavorazione indispensabile nella lavorazione dei microfori. Caratteristiche dell'elaborazione con fascio di elettroni ①Teoricamente, l'elaborazione con fascio di elettroni può elaborare piccoli fori con un diametro inferiore a 1um. Allo stesso tempo, la lunghezza della parte più sottile dopo che il fascio di elettroni è stato focalizzato è decine di volte il diametro della sua sezione trasversale, quindi è adatta per elaborare piccoli fori profondi ②L'intensità e la posizione del fascio di elettroni sono facilmente controllate da il campo magnetico e il campo elettrico, quindi è facile programmare il controllo, realizzare la perforazione automatica di piccoli fori ad alta velocità ③ Quando il fascio di elettroni perfora piccoli fori, la forza è piccola, lo stress e la deformazione sono piccoli e può essere utilizzato su superfici fragili materiali, materiali duttili, conduttori e non conduttori. ④ I piccoli fori del fascio di elettroni sono realizzati in alto vuoto. Viene eseguito in ambiente medio, evita quasi completamente il fenomeno dell'ossidazione nel trattamento dell'aria ed è particolarmente adatto per praticare piccoli fori in materiali facilmente ossidabili e materiali semiconduttori con requisiti di purezza estremamente elevati. ⑤La perforazione con fascio di elettroni richiede decine di migliaia di volt di tensione di accelerazione e altezza di pompaggio. Le apparecchiature per il vuoto sono più complicate e costose. Pertanto, presenta alcune limitazioni nella produzione e nell'applicazione. Attualmente viene utilizzato principalmente nel campo dell'industria microelettronica. Precedente: Caratteristiche della lavorazione ad ultrasuoni nel processo di lavorazione di piccoli fori